安全：安全是相對的，不容易表征。在過程安全領域，沒有不可接受風險就稱為安全（IEC）

安全儀表系統（Safety instrumented system: SIS）

用來實現一個或幾個儀表安全功能的儀表系統。SIS可以由傳感器、邏輯結算器和最終元件的任意組合組成。

儀表安全功能（Safety instrumented function: SIF）

具有某個特定的SIL，用來達到功能安全的安全功能，它既可以是一個儀表安全保護功能，也可以是一個儀表安全控制功能。

安全完整性等級（Safety integrity level: SIL）

用來規定分配給安全儀表系統的儀表安全功能的安全完整性要求的離散等級。SIL4是安全完整性的最高等級，SIL1為最低等級。